不久前，廣東工業(yè)大學省部共建精密電子制造技術(shù)與裝備國家重點實驗室傳來突破性進展。陳新/陳云教授團隊聯(lián)合蘇州邁為科技股份有限公司等行業(yè)龍頭企業(yè)，在Mini/MicroLED顯示領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)與裝備研發(fā)上取得重大突破，相關(guān)成果已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應用，助力我國新型顯示產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

Mini/Micro LED 作為新一代顯示技術(shù)，兼具高亮度、高對比度、低功耗等優(yōu)勢，符合 “雙碳” 戰(zhàn)略導向，在消費電子、高端顯示等領(lǐng)域市場潛力巨大。然而，高效率、高良率的芯片巨量轉(zhuǎn)移及鍵合技術(shù)，長期以來是國際技術(shù)競爭焦點。

在國家重點研發(fā)計劃 “智能機器人” 專項支持下，廣東工業(yè)大學團隊發(fā)明二維高頻協(xié)同飛行刺晶新原理，通過 “飛行刺晶提速度、宏微復合保精度、定向補償增良率” 的技術(shù)組合拳，構(gòu)建起覆蓋轉(zhuǎn)移方法、鍵合工藝、核心部件、系統(tǒng)控制的全鏈條自主技術(shù)體系。針對更小尺寸的 Micro LED 轉(zhuǎn)移難題，團隊進一步突破高速精密對位、激光工藝協(xié)同、誤差補償?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)，累計獲得 20 余項中美發(fā)明專利授權(quán)。

通過與泛半導體裝備頭部企業(yè)蘇州邁為股份的深度產(chǎn)學研合作，科研成果迅速轉(zhuǎn)化為現(xiàn)實生產(chǎn)力。雙方聯(lián)合研發(fā)的飛行刺晶巨量轉(zhuǎn)移機器人，實現(xiàn)了性能指標的跨越式提升，顯著降低原材料消耗與制造成本。

該裝備不僅在技術(shù)指標上達到國際領(lǐng)先水平，更實現(xiàn)了 Mini LED 巨量轉(zhuǎn)移生產(chǎn)線的批量出貨，為我國顯示產(chǎn)業(yè)裝上 “中國芯”。目前，相關(guān)裝備已在大屏顯示、會議一體機、家庭影院等商用與消費場景中規(guī)?；瘧?，推動我國高清顯示產(chǎn)業(yè)升級。

在突破 Mini LED 技術(shù)的同時，廣東工業(yè)大學和蘇州邁為股份子公司邁為技術(shù)（珠海）有限公司組成的聯(lián)合攻關(guān)團隊，瞄準 Micro LED 前沿領(lǐng)域，實現(xiàn)激光剝離、巨轉(zhuǎn)、鍵合、修復等設(shè)備國產(chǎn)化，G3.5 代線激光鍵合設(shè)備已交付客戶。團隊首創(chuàng)硅基 Micro LED 混合鍵合晶圓重構(gòu)整體解決方案，覆蓋晶圓研拋、飛秒激光切割、等離子體加工、混合鍵合等全流程關(guān)鍵設(shè)備，將半導體集成技術(shù)與新型顯示創(chuàng)新融合，為超高清顯示大規(guī)模量產(chǎn)開辟了新路徑。（來源：人民日報）

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