據(jù)投影時代報道,江蘇天晶智能裝備有限公司(以下簡稱“天晶智能裝備”)宣布,其自主研發(fā)的12英寸藍寶石襯底與載體晶圓已同步實現(xiàn)規(guī)?;慨a(chǎn),年產(chǎn)能達10萬片,良率超97%。
此次量產(chǎn)的12英寸藍寶石襯底直徑控制精度為300±0.5mm,表面粗糙度為0.2納米,位錯密度≤500 cm?2,可耐受2050℃高溫,可滿足GaN外延、Micro LED等高端器件的制造需求。
12英寸藍寶石襯底通過獨創(chuàng)的超高速金剛石線切割技術(線速3000米/分鐘)與磁控濺射工藝,產(chǎn)品外延層位錯密度降低80%,提升LED芯片發(fā)光效率。
圖片來源:天晶智能裝備
資料顯示,天晶智能裝備于2015年在深圳創(chuàng)立,起步便專注智能裝備領域。2019 年,公司在徐州設立生產(chǎn)總部,2024 年,為擴大規(guī)模,工廠遷至淮安,同年在福建水頭鎮(zhèn)成立分公司,完成全國布局。(LEDinside整理)