自2021年3月獲科技部批復組建以來，國家新型顯示技術創(chuàng)新中心在創(chuàng)新平臺建設與運營、戰(zhàn)略研究與規(guī)劃部署、新型顯示材料與制造裝備國產(chǎn)化、知識產(chǎn)權與標準、產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈建設等方面取得明顯成效。

該中心重點突破材料、器件、面板工藝和裝備技術瓶頸，解決我國新型顯示產(chǎn)業(yè)鏈的關鍵材料與核心裝備環(huán)節(jié)短板，構建自主可控、安全可靠的新型顯示產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈，積極打造世界級新型顯示產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈。

近日，國家新型顯示技術創(chuàng)新中心又有兩項科研取得新進展，分別是Micro LED創(chuàng)新平臺在超高密度Micro LED鍵合凸點的規(guī)?；苽?，以及視覺健康與感知創(chuàng)新平臺在偏振體全息（PVG）光波導AR顯示技術。

Micro LED創(chuàng)新平臺在超高密度Micro LED鍵合凸點的規(guī)?；苽?br />

近日，國家新型顯示技術創(chuàng)新中心Micro LED創(chuàng)新平臺牽頭單位福州大學郭太良教授團隊嚴群和孫捷課題組在超高密度微米級LED（Micro LED）鍵合凸點的規(guī)?；苽浞矫嫒〉弥匾M展，并在著名期刊《美國化學學會應用電子材料》（ACS Applied Electronic Materials）上發(fā)表研究論文。

超高密度Micro LED鍵合凸點圖示

課題組認為，化學鍍成本低且不會受真空鍍膜技術中金屬剝離光刻諸多工藝重復性不利因素的影響，是在超高密度Micro LED領域非常具有前景的凸點制備技術。同時因化學鍍不涉及電學控制，其制備凸點比電鍍更為均勻。

該研究報告了通過化學鍍（ENIG）制備超小間距Ni/Au凸點的全工藝流程，凸點高度達4微米，周期僅有8微米，重復性良好。研究還表明，廉價金屬鐵和鎳可用來催化化學鍍鎳工藝的反應。

結果顯示，晶圓上凸點均勻一致且內部沒有發(fā)現(xiàn)空隙或雜質，有利于接下來的鍵合互連過程，為超高密度Micro-LED顯示芯片與其主動驅動芯片的集成，實現(xiàn)電學和機械的互連提供了一條低成本、高重復性的路徑，對產(chǎn)業(yè)化非常有價值，下一步擬實用于樣機制備中。

視覺健康與感知創(chuàng)新平臺在偏振體全息（PVG）光波導AR顯示技術

近日，國家新型顯示技術創(chuàng)新中心視覺健康與感知創(chuàng)新平臺牽頭單位東南大學張宇寧教授研究團隊在美國光學學會主辦的傳統(tǒng)期刊《光學快報》（Optics Express）發(fā)表論文，提出了一種基于新型偏振體全息（PVG）波導的二維擴瞳設計與制備方法。

根據(jù)所提出的技術方案，研究團隊搭建了基于微米級LED（Micro LED）像源的原理樣機系統(tǒng)。得益于PVG波導技術自身優(yōu)異的衍射性能和優(yōu)化設計，該波導技術方案在實現(xiàn)近20倍光瞳放大率的同時，光學效率高達3.8%，而背面漏光率僅為8.7%，有效突破了現(xiàn)有衍射光波導技術中普遍存在的效率低、漏光嚴重瓶頸問題，為AR衍射光波導技術的進一步應用與發(fā)展提供了有力支撐。

偏振體全息（PVG）光波導技術是東南大學顯示技術研究中心張宇寧教授團隊提出的一種新型衍射波導AR顯示技術。該技術在保留體全息波導技術高效率、低成本優(yōu)勢的同時，突破了原有體全息波導在視場范圍（FOV）、彩色顯示等方面的限制。

PVG波導彩色成像實拍圖

對比現(xiàn)有衍射波導方案，PVG光波導技術在顯示性能、功耗、重量體積、制備成本方面都體現(xiàn)出其獨有的潛力與優(yōu)勢。（來源：粵港澳大灣區(qū)國家技術創(chuàng)新中心、LEDinside整理）