近日，英國斯特拉思克萊德大學（University of Strathclyde）的研究者宣布開發(fā)了一項Micro LED新型轉(zhuǎn)移工藝：連續(xù)滾輪轉(zhuǎn)印技術，可在一次轉(zhuǎn)印中精準地轉(zhuǎn)移超75000顆Micro LED，并針對轉(zhuǎn)移的數(shù)量和良率開發(fā)了自動計量系統(tǒng)。

a) 滾輪轉(zhuǎn)印設備示意圖；b) 轉(zhuǎn)印制程（左到右），器件從供體釋放到轉(zhuǎn)移頭，再放置到接收芯片上

研究人員表示，這項工藝可以實現(xiàn)Micro LED的巨量集成，可在一次轉(zhuǎn)印中轉(zhuǎn)移一個320x240像素陣列，相當于75000顆以上的Micro LED，相對位置精度達亞微米級，而且能夠保持像素陣列的幾何結構，像素空間定位誤差與設計布局的偏差控制1μm以內(nèi)。

另外，研究者還采用了基于簡單光學顯微鏡的自動亞微米級精準計量系統(tǒng)，用于評估如此大規(guī)模數(shù)量的器件，同時還可以評估良率。

除了Micro LED巨量轉(zhuǎn)移，該工藝還可用于其他類型的設備，包括硅和印刷電子設備，如柔性和可穿戴電子設備、智能包裝和射頻識別標簽；同時，該工藝在光伏設備制造、藥物輸送系統(tǒng)、生物傳感器和組織工程等生物醫(yī)學應用中也具有應用潛力。

目前，這篇論文已發(fā)表在《光學材料快報》上，論文鏈接是：https://opg.optica.org/ome/fulltext.cfm?uri=ome-13-8-2236&id=532711。（LEDinside Janice編譯）