9月12日,Micro LED微顯示芯片公司諾視科技宣布近日成功打通垂直堆疊(VSP)工藝流程,實現(xiàn)AlGaInP和GaN材料體系的單片集成。
據(jù)介紹,該技術采用晶圓級堆疊(WLVSP)技術方案,在完成AlGaInP紅光微顯示芯片制備后,繼續(xù)堆疊InGaN晶圓材料,可實現(xiàn)單個驅(qū)動背板上的像素垂直堆疊。
諾視科技表示,這是公司在點亮0.39英寸以及其全球最小的0.12英寸紅、綠、藍三原色微顯示芯片后,在VSP技術上的又一突破,在完成全波段布局后,向單片全彩Micro LED微顯示芯片更進一步。
諾視科技RGB三原色微顯示芯片,來源諾視科技
諾視科技表示,VSP技術具有大尺寸晶圓兼容優(yōu)勢。而公司已于今年初完成8英寸硅基Micro LED微顯示芯片的研發(fā)流片通線,驗證了VSP技術大尺寸晶圓量產(chǎn)的可行性并完成相關技術儲備,經(jīng)測算,該技術路線可以大幅度降低Micro LED亟待解決的成本問題。
諾視科技8英寸及4英寸Micro LED微顯示晶圓,來源諾視科技
官方顯示,諾視科技成立于2021年,聚焦于Micro LED芯片研發(fā)、生產(chǎn)及銷售。諾視團隊是國內(nèi)最早一批參與研發(fā)和小批量生產(chǎn)Micro LED微顯示屏芯片的團隊,也是國內(nèi)首個深度融合集成電路制造工藝和Micro LED芯片制造的團隊。
諾視科技特有的VSP技術,可結合8英寸集成電路工藝產(chǎn)線,具有高性能、低成本、高良率的量產(chǎn)特性,在同一技術路線上可以同時輸出Micro LED巨轉(zhuǎn)芯片與微顯示屏兩種產(chǎn)品形態(tài),以IDM模式從專利布局、產(chǎn)品設計、生產(chǎn)制造,到封裝測試實現(xiàn)完全自主可控。
截至目前,諾視科技已經(jīng)連續(xù)成功點亮0.39英寸和0.12英寸Micro LED微顯示屏,其中,諾視科技成功點亮的0.12英寸 Micro LED微型顯示屏,亮度可達數(shù)百萬尼特,像素尺寸3.75μm,是目前全球已知的像素尺寸最小的VGA分辨率微顯示器件。
來源:諾視科技
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