Micro LED成為顯示器產(chǎn)業(yè)眾所矚目的前瞻技術(shù)，且相關(guān)應(yīng)用紛紛出爐。如今年智能顯示展上，可以看到許多Micro LED產(chǎn)品亮相，如友達(dá)、群創(chuàng)、錼創(chuàng)等，皆紛紛展示其在Micro LED領(lǐng)域的布局成果；顯現(xiàn)業(yè)界積極克服Micro LED既有技術(shù)障礙，走向量產(chǎn)目標(biāo)的決心。

只不過，Micro LED若要量產(chǎn)，并降低生產(chǎn)成本的話，除了要更進(jìn)一步強(qiáng)化巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)外，為確保Micro LED良率，也要改善檢測(cè)與修復(fù)技術(shù)，因?yàn)闄z測(cè)與修復(fù)也是制程中不可或缺的關(guān)鍵步驟。然而，由于Micro LED產(chǎn)品使用的芯片數(shù)量眾多，正確且快速地檢測(cè)并修復(fù)巨量而細(xì)小的芯片，依然是一項(xiàng)艱巨挑戰(zhàn)。

為了提升Micro LED檢測(cè)效率，不少技術(shù)開發(fā)人員與設(shè)備制造商持續(xù)精進(jìn)巨量檢測(cè)技術(shù)；對(duì)此，安新精密已研發(fā)出失效分析準(zhǔn)確定位的利器——熱輻射顯微鏡EM系列，通過熱能快速檢測(cè)Micro LED產(chǎn)品缺陷。

以熱能抓出缺陷，安新打造高效檢測(cè)設(shè)備

安新精密董事長(zhǎng)賴昱安表示，目前許多接觸式檢測(cè)，即是提高電壓、電流，一旦發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品哪邊燒壞，就可得知哪里出了問題；不過，這種作法容易失真。因此，安新采用非接觸式的做法，通過“熱能”進(jìn)行檢測(cè)。因電子組件在電流通過后，于正常與缺陷之處兩者會(huì)有所差異，常會(huì)以偵測(cè)能量（光和熱）的方式判斷異常。

（賴昱安–安新精密科技 董事長(zhǎng)；圖片來源：安新精密）

賴昱安解釋，以能量偵測(cè)的方式通常有三種，分別是顯微鏡搭配特定波長(zhǎng)傳感器偵測(cè)（Photo emission）、以雷射激發(fā)產(chǎn)生阻抗變化（OBIRCH），以及偵測(cè)組件所放出的熱輻射（Thermal emission）；而安新選用的是第三種方式。

賴昱安進(jìn)一步說明，當(dāng)物體高過絕對(duì)零度，就會(huì)發(fā)出輻射，通過量測(cè)體溫的熱像儀（或稱紅外線相機(jī)），和確認(rèn)人是否發(fā)燒的原理一樣，以用于檢測(cè)IC與面板等電子組件是否有發(fā)燒。

（IC檢測(cè)；圖片來源：安新精密）

同時(shí)，隨著制程進(jìn)步，產(chǎn)品尺寸縮小，操作電壓降低，產(chǎn)生的熱也會(huì)跟著變化，更難以精準(zhǔn)檢測(cè)缺陷產(chǎn)生的熱；因此需要搭配高放大倍率的熱輻射顯微鏡。而安新EM系列即是整合高放大倍率的紅外線相機(jī)，搭配訊號(hào)分析，能精確定位出缺陷位置。

賴昱安解釋，紅外線量測(cè)優(yōu)點(diǎn)之一為非接觸式，除了不會(huì)影響熱表現(xiàn)，也不會(huì)干擾高頻的量測(cè)結(jié)果。而安新與泓邦科技合作，采用泓邦科技旗下德國(guó)紅外線相機(jī)- InfarTec，可隨產(chǎn)品尺寸變化而使用不同倍率的鏡頭，達(dá)到理想的量測(cè)效果。特定型號(hào)相機(jī)每秒鐘擷取1,000張的高速取樣，若使用格放模式，更可高達(dá)每秒30,000張的能力，完整記錄瞬間的溫度變化，便于訊號(hào)處理與分析。

（MiniLED–低倍；圖片來源：安新精密）

（MiniLED –高倍；圖片來源：安新精密）

不僅如此，再通過安新的掃描技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)超廣視野，也就是得到廣角且細(xì)膩的畫面，適合應(yīng)用于面板的大范圍量測(cè)。經(jīng)設(shè)定后，可自動(dòng)移動(dòng)并連續(xù)量測(cè)，拼接得到大面積且高解析的溫度結(jié)果，最高分辨率達(dá)9600x7680；同時(shí)，通過精密的微偏移，也能夠產(chǎn)生精致的影像，最高分辨率達(dá)6400x5120。

不僅如此，安新EM系列除了可自動(dòng)控制量測(cè)，還搭配訊號(hào)處理技術(shù)，降低干擾噪聲，找出瑕疵位置，使得影像判斷更簡(jiǎn)單明了。

賴昱安說明，過往這些熱輻射檢測(cè)出來的結(jié)果，都是由人為判斷，即交由有經(jīng)驗(yàn)的工程師判讀哪邊有問題，而這需要較長(zhǎng)一段訓(xùn)練時(shí)間；且紅外線鏡頭不管等級(jí)再高，可以量測(cè)的僅是物體表面溫度，無法穿透，所以一般在判讀上就是以表面溫度為憑據(jù)。不過，隨著制程愈來愈復(fù)雜，人為判讀也越來越困難，這也是安新使用訊號(hào)處理技術(shù)的原因。

賴昱安解釋，訊號(hào)處理就是像傳輸數(shù)據(jù)時(shí)，要把noise排除掉一樣；因?yàn)榧t外線量測(cè)有很多參數(shù)會(huì)影響到結(jié)果，如周遭環(huán)境、材料特性等因素。訊號(hào)處理則讓量測(cè)后的結(jié)果能更容易用圖形顯示，并依據(jù)坐標(biāo)提供準(zhǔn)確的分析與位置；有了訊號(hào)處理，才可以看到產(chǎn)品內(nèi)部深層、淺層的不同狀況。除量測(cè)面板外，亦可應(yīng)用于IC的失效分析，例如芯片內(nèi)部短路或漏電等問題。

“我們提供一個(gè)簡(jiǎn)易使用的設(shè)備，降低量測(cè)門坎，建立標(biāo)準(zhǔn)化；由工具來協(xié)助判斷，沒有檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)也能快速上手。”賴昱安說。

高整合EM設(shè)備助力，Micro LED檢測(cè)難度再降低

（熱輻射顯微鏡–EM系列機(jī)臺(tái)；圖片來源：安新精密）

綜上所述，隨著產(chǎn)品尺寸越來越小，單純藉由溫度分布差異，有時(shí)難以判斷產(chǎn)品失效的狀況，原先的設(shè)備更難精準(zhǔn)檢測(cè)缺陷產(chǎn)生的熱；也因此，安新科技開發(fā)了熱輻射顯微鏡EM系列，整合高靈敏相機(jī)與訊號(hào)處理技術(shù)，搭配軸控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦或拼接等功能，便于操作。且使用高靈敏的紅外線相機(jī)，不須刻意提高電流或電壓將組件燒毀才能找出問題。可在正常使用或更低負(fù)載的狀況下判斷出缺陷位置。（文：LEDinside）

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