中晟光電設(shè)備（上海）有限公司今日上午正式宣布,大型MOCVD設(shè)備ProMaxy進(jìn)入市場(chǎng)。

該公司介紹稱,這種設(shè)備專注于超高亮度LED 的大規(guī)模生產(chǎn)，具有目前世界上最高的系統(tǒng)產(chǎn)能，可以實(shí)現(xiàn)264片/2英寸，68片/4英寸，或32片/6英寸產(chǎn)能，具有最低的單片外延生產(chǎn)成本，并同時(shí)具有良好的波長(zhǎng)均勻性及大規(guī)模外延生產(chǎn)所需的各項(xiàng)關(guān)鍵性能。

ProMaxy適合大規(guī)模生產(chǎn)多種器件，包括藍(lán)白光LED、綠光LED、紫外光LED以及功率器件等，且簡(jiǎn)單更換工藝程序即可實(shí)現(xiàn)不同器件的生產(chǎn)。另外,客戶可以根據(jù)需要自由選擇配置1-4個(gè)反應(yīng)腔，各個(gè)反應(yīng)腔獨(dú)立操作控制，提高設(shè)備效率和生產(chǎn)的靈活性?，F(xiàn)已有客戶接受多腔ProMaxy并調(diào)試進(jìn)展順利。此外，多家客戶對(duì)ProMaxy完成了現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)機(jī)與評(píng)估。

公司董事長(zhǎng)兼執(zhí)行長(zhǎng)陳愛(ài)華博士指出表示：“中晟推出ProMaxy旨在為我們的客戶提供最優(yōu)的擁有價(jià)值和能發(fā)揮客戶自身優(yōu)勢(shì)的設(shè)備平臺(tái)，為半導(dǎo)體照明高速發(fā)展提供新的活力。”

中晟的客戶漢萊總經(jīng)理孫明表示，“中晟ProMaxy MOCVD 在兩周內(nèi)便完成安裝，第二爐便達(dá)到85%的亮度指標(biāo)。經(jīng)過(guò)進(jìn)一步的調(diào)試和驗(yàn)證，ProMaxy生產(chǎn)出來(lái)的1023芯片在20mA 已達(dá)155lm/W；裝入12W 的T8燈管后，整燈光效仍超過(guò)140lm/W。”

該公司還在發(fā)布會(huì)現(xiàn)場(chǎng)與媒體進(jìn)行了Q&A環(huán)節(jié)。

Q：中晟光電設(shè)備創(chuàng)業(yè)的理念及目標(biāo)是什么？ProMaxy命名又有何特殊意義？

A:中晟的英文名叫TOPEC，全名Tang Optoelectronics Equipment Corporation，其中“Tang”（唐）自古代表強(qiáng)盛的中國(guó)，“TOP”又寓意世界領(lǐng)先。

中晟光電致力于建立一個(gè)以中國(guó)為基地，世界領(lǐng)先的綠色能源與節(jié)能減排高端裝備、核心技術(shù)和工藝制程的企業(yè)，首先實(shí)現(xiàn)一流的LED MOCVD設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化。

而ProMaxy 是由3個(gè)英文字縮寫(xiě)組合而成。“Pro”代表 Productivity（產(chǎn)能）； “Max”代表Maximum（最大量化）；“y”代表Yield（良率）。組合起來(lái)表示最高的產(chǎn)能和最優(yōu)的良率。

Q：目前外延鏈產(chǎn)能出現(xiàn)過(guò)剩狀況，中晟的MOCVD在這種市場(chǎng)狀況下如何切入市場(chǎng)？

A：首先產(chǎn)能過(guò)剩是相對(duì)的，做得好的企業(yè)還在擴(kuò)充產(chǎn)能。中晟ProMaxy目前主要針對(duì)仍在擴(kuò)充產(chǎn)能的企業(yè)，而且今年首要任務(wù)是獲得市場(chǎng)驗(yàn)證和認(rèn)可，為2014 年銷售和營(yíng)運(yùn)盈利顯著增長(zhǎng)奠定基礎(chǔ)。

中晟ProMaxy 能為客戶提供最優(yōu)的擁有價(jià)值，能提供目前市場(chǎng)上最高的系統(tǒng)產(chǎn)能和最低的外延營(yíng)運(yùn)成本（COO）；不僅適合藍(lán)白光LED的外延生產(chǎn)，而且不需更換軟件硬件就可以進(jìn)行從藍(lán)白光轉(zhuǎn)換成綠光或紫外光的外延生產(chǎn)。

Q：中晟產(chǎn)品與進(jìn)口設(shè)備和其他國(guó)產(chǎn)設(shè)備比較，分別有何優(yōu)勢(shì)？

A：在與進(jìn)口設(shè)備比較方面，

1. 既能滿足大規(guī)模外延生產(chǎn)的需要，提供最低的外延營(yíng)運(yùn)成本（COO），同時(shí)又能提高EPI效率設(shè)備平臺(tái)的綜合集成的MOCVD設(shè)備與技術(shù)
2. 提供機(jī)臺(tái)配置和外延生產(chǎn)的靈活性：可單腔數(shù)或偶腔數(shù)配置，具有混合交替生產(chǎn)藍(lán)白光、綠光或紫外光的靈活性
3. 中晟的售后服務(wù)是以客為尊，并且配有實(shí)驗(yàn)室及配套的MOCVD設(shè)備等設(shè)施可供客戶測(cè)試新的工藝及培訓(xùn)工程師

而中晟的目標(biāo)是首先實(shí)現(xiàn)世界領(lǐng)先的LED MOCVD 設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化，打破MOCVD 設(shè)備與技術(shù)被歐美廠商壟斷的局面，歡迎更多國(guó)產(chǎn)的設(shè)備幫助實(shí)現(xiàn)十二五節(jié)能減排目標(biāo)。ProMaxy的優(yōu)勢(shì)在于它具有自主創(chuàng)新的MOCVD 核心技術(shù)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，而且解決了目前大規(guī)模外延生產(chǎn)中設(shè)備所存在的關(guān)鍵問(wèn)題。

Q：貴公司的MOCVD一年可以出貨幾臺(tái)？短期出貨有何預(yù)期？

A：目前公司的設(shè)備生產(chǎn)能力可達(dá)年產(chǎn)80個(gè)反應(yīng)腔。目前已經(jīng)有一臺(tái)多腔的ProMaxy機(jī)臺(tái)被長(zhǎng)三角地區(qū)的客戶接收，正在進(jìn)行LED芯片的開(kāi)發(fā)與驗(yàn)證。另外已有5家客戶完成了現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)機(jī)與評(píng)估。今年預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)銷售8個(gè)反應(yīng)腔的設(shè)備。

Q：ProMaxy 的核心技術(shù)是什么？自主研發(fā)的技術(shù)有無(wú)知識(shí)產(chǎn)權(quán)？

A：中晟的核心技術(shù)包括多項(xiàng)國(guó)內(nèi)外申請(qǐng)的專利和技術(shù)秘密，可由5個(gè)國(guó)內(nèi)已授權(quán)的專利來(lái)代表，分別是：

1. 一種外延片托盤(pán)及支撐旋轉(zhuǎn)聯(lián)接裝置
2. 一種MOCVD系統(tǒng)及其中反應(yīng)氣體的排氣裝置
3. 用于MOCVD反應(yīng)腔中反應(yīng)氣體輸送與均勻分布控制的裝置
4. 具有多個(gè)外延反應(yīng)腔的MOCVD系統(tǒng)及其操作方式
5. 用于MOCVD系統(tǒng)中控制外延片溫度及均勻性的裝置與方法

Q：ProMaxy在技術(shù)層面還有哪些優(yōu)勢(shì)？

A：首先該產(chǎn)品的良率可參照波長(zhǎng)均勻性；片內(nèi)STD <1nm；片間與批次間Δλ<±2nm。

第二，該產(chǎn)品不僅適合生長(zhǎng)藍(lán)白光、綠光及紫外光LED，而且可以一爐一爐的交錯(cuò)獨(dú)立地進(jìn)行外延生長(zhǎng)，相互不干擾。

第三，每日可以實(shí)現(xiàn)平均2.5 到3 爐的運(yùn)作。

Q： ProMaxy多腔配置的價(jià)格大概多少？

A：中晟產(chǎn)品價(jià)格是根據(jù)外延營(yíng)運(yùn)成本來(lái)確定。如不包括襯底基片，設(shè)備的價(jià)格和生產(chǎn)效率（產(chǎn)能、維護(hù)周期等）占單片外延營(yíng)運(yùn)成本的約33%，Mo 源、化學(xué)氣體、電力及水等消耗約占40%，耗材約占14%。中晟ProMaxy具有最低的單片外延營(yíng)運(yùn)成本就是基于這三部分比進(jìn)口設(shè)備均有優(yōu)勢(shì)。因此，與類似產(chǎn)能的機(jī)臺(tái)相比，ProMaxy在價(jià)格上要比進(jìn)口設(shè)備低。

Q： 半導(dǎo)體照明節(jié)能產(chǎn)業(yè)規(guī)劃提到會(huì)重點(diǎn)支持生產(chǎn)型MOCVD的量產(chǎn)，新產(chǎn)品否符合生產(chǎn)型MOCVD 的定義嗎？

ProMaxy具有自動(dòng)化裝卸、連續(xù)外延生產(chǎn)性能的多腔系統(tǒng)，單腔的產(chǎn)能為66片/2英寸，17片/4 英寸，或8片/6英寸。如系統(tǒng)配置4個(gè)反應(yīng)腔，產(chǎn)能高達(dá)264片/2 英寸，68片/4 英寸，或32片/6 英寸。因此ProMaxyTM 是符合而且超過(guò)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)定義的生產(chǎn)型MOCVD。